Αναγνώριση προϊόντος
|
Είδος |
Προσδιορισμός |
|
Όνομα προϊόντος |
G4 Υδροφθορικό Οξύ (HF) |
|
Κατηγορία Προϊόντος |
Ημιαγωγός Ηλεκτρονικό Υγρό Χημικό |
|
Χημική ονομασία |
Υδροφθορικό οξύ |
|
Χημικός τύπος |
HF |
|
CAS Αρ. |
7664-39-3 |
|
Μοριακό βάρος |
20.01 |
|
Αριθμός ΟΗΕ |
1790 |
|
Βαθμός |
SEMI G4 Ultra-Ηλεκτρονικός βαθμός υψηλής καθαρότητας |
Επισκόπηση προϊόντος
Το G4 Hydrofluoric Acid είναι ένα ανόργανο οξύ με βάση το φθόριο υψηλής-καθαρότητας- αποκλειστικά εξευγενισμένο για την προηγμένη κατασκευή γκοφρετών ημιαγωγών και την κατασκευή μικροηλεκτρονικών. Υιοθετώντας την τεχνολογία πολλαπλών-υπερ-υπερ-υπερ-καθαρισμού πολλαπλών σταδίων,-ελεύθερη διάβρωση{6}}φιλτράρισμα και Class 1000 clean- πλήρωσης χώρων, το προϊόν διαθέτει εξαιρετικά-μεταλλικά χαμηλού ίχνους, ανιονικές ακαθαρσίες και μικρο{10}}περιεκτικότητα σε μικρο{10}}σωματίδια, πλήρως συμμορφούμενη με τα αυστηρά διεθνή πρότυπα SEMI.
Ως πυρήνα επιλεκτικής χάραξης και καθαρισμού υγρού χημικού σε διεργασίες μπροστινού{0}} ημιαγωγού, εμφανίζει εξαιρετική επιλεκτικότητα χάραξης για στρώματα οξειδίου του πυριτίου ενώ προκαλεί ελάχιστη ζημιά στα υποστρώματα πυριτίου και τις μεμβράνες νιτριδίου. Ο αυστηρός έλεγχος ακαθαρσιών αποφεύγει αποτελεσματικά τη μικρο-μόλυνση και τα ελαττώματα της γκοφρέτας, διασφαλίζοντας υψηλή απόδοση και μακροπρόθεσμη-σταθερότητα για προηγμένες διαδικασίες κατασκευής τσιπ.
Εμφάνιση:Άχρωμο, διαυγές και διαφανές πτητικό υγρό
Τεχνικές προδιαγραφές (Πρότυπο SEMI G4)
|
Στοιχείο δοκιμής |
Προσδιορισμός |
|
Προσδιορισμός HF |
48,5 ~ 49,5% κ.β. |
|
Εμφάνιση |
Άχρωμο & διαυγές υγρό |
|
Χρώμα (APHA) |
Μικρότερο ή ίσο με 5 |
|
Πυκνότητα @ 20 μοίρες |
1,15 ~ 1,18 g/cm³ |
|
Υπόλειμμα εξάτμισης |
Μικρότερο ή ίσο με 30 ppb |
|
Μεμονωμένα ίχνη μετάλλων (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr) |
Λιγότερο ή ίσο με 10 ppb το καθένα |
|
Φθοριοπυριτικό οξύ (H2SiF6) |
Λιγότερο ή ίσο με 10 ppm |
|
Θειικό (SO42-) |
Μικρότερο ή ίσο με 30 ppb |
|
Νιτρικά (NO₃-) |
Μικρότερο ή ίσο με 30 ppb |
|
Χλώριο (Cl-) |
Μικρότερο ή ίσο με 30 ppb |
|
Σωματίδια Μεγαλύτερα ή ίσα με 0,2μm |
Λιγότερο ή ίσο με 100 pcs/mL |
Σημείωμα:Όλα τα δεδομένα δοκιμών βασίζονται σε συγκεκριμένες παρτίδες-COA (Πιστοποιητικό ανάλυσης).
Εφαρμογές (Ημιαγωγική Υγρή Διαδικασία)
Αφαίρεση εγγενούς οξειδίου γκοφρέτας:Αφαιρέστε επιλεκτικά το φυσικό οξείδιο του πυριτίου και τους υπολειμματικούς ρύπους του οξειδίου στις επιφάνειες του πλακιδίου πυριτίου χωρίς να καταστρέψετε το υπόστρωμα πυριτίου, βελτιστοποιώντας την κατάσταση της επιφάνειας για διαδικασίες εναπόθεσης, λιθογραφίας και χάραξης.
Επιλεκτική χάραξη ακριβείας:Χρησιμοποιείται για λεπτή χάραξη διηλεκτρικών στρωμάτων SiO2, στρωμάτων οξειδίου πύλης και στρωμάτων λεπτής μεμβράνης στην κατασκευή IC, με υψηλή ομοιομορφία χάραξης και εξαιρετική δυνατότητα ελέγχου της διαδικασίας για την εξασφάλιση ακριβούς μεταφοράς σχεδίων.
Διαδικασία υγρού καθαρισμού RCA:Χρησιμεύει ως βασικό συστατικό των τροποποιημένων διαλυμάτων καθαρισμού RCA για την εξάλειψη μικρο-σωματιδίων, ιοντικών ακαθαρσιών και οργανικών υπολειμμάτων στις επιφάνειες του πλακιδίου, βελτιώνοντας τη συνολική καθαριότητα του πλακιδίου.
Προηγμένη διαδικασία συσκευασίας και MEMS:Εφαρμόζεται για επιφανειακή επεξεργασία, μικρο-εγχάραξη και αφαίρεση ακαθαρσιών συσκευών MEMS, αισθητήρων ημιαγωγών και προηγμένων εξαρτημάτων συσκευασίας τσιπ, που προσαρμόζονται στις απαιτήσεις μικροηλεκτρονικής κατασκευής υψηλής ακρίβειας-.
Πρότυπο συσκευασίας και πλήρωσης
Τύπος συσκευασίας:Ανθεκτικό στη διάβρωση-PTFE-επενδεδυμένο / καθαρό-τύμπανο ποιότητας HDPE σφραγισμένο, ειδική χημική συσκευασία HF
Κοινή προδιαγραφή:25kg / 30kg μικρό τύμπανο, 1000kg στη διάβρωση-ανθεκτική θήκη IBC
Περιβάλλον πλήρωσης:Καθαρό δωμάτιο κατηγορίας 1000, σύστημα παραγωγής και πλήρωσης χωρίς διάβρωση-, μηδενική δευτερογενής μόλυνση
Πρότυπο σφράγισης:Ειδική αντι-πτητική και αντι-στεγανή δομή, αποτρέπει αυστηρά την απώλεια πτητικών και την εξωτερική μόλυνση
Αποθήκευση & Διάρκεια ζωής
● Αποθηκεύστε σε δροσερή, ξηρή, αεριζόμενη ειδική αποθήκη φθορίου χημικών προϊόντων, φυλάξτε τη ερμητικά σφραγισμένη, μακριά από το άμεσο ηλιακό φως, τις υψηλές θερμοκρασίες και πηγές θερμότητας.
● Απομονώστε αυστηρά από προϊόντα γυαλιού, αλκαλικές ουσίες, οξειδωτικά και μεταλλικά υλικά για αποφυγή χημικής διάβρωσης και μη έγκυρης αντίδρασης.
● Να απαγορεύεται η μακροχρόνια-αποθήκευση σε ανοιχτό χώρο για να αποφευχθεί η πτητική φθορά και η μόλυνση από την απορρόφηση υγρασίας.
● Διάρκεια ζωής:12 μήνες υπό τυπικές σφραγισμένες συνθήκες αποθήκευσης
Προφυλάξεις χειρισμού και ασφάλειας
● Το υδροφθορικό οξύ είναι πολύ διαβρωτικό και πτητικό. Οι χειριστές πρέπει να φορούν επαγγελματικά υποστηρικτικά ΜΑΠ:-αντοχή στο φθόριο γάντια, πλήρως κλειστά χημικά γυαλιά, αντιδιαβρωτική ποδιά-και προστατευτικό ρουχισμό.
● Όλες οι εργασίες πρέπει να εκτελούνται σε επαγγελματικούς απαγωγείς καπνού. αποφύγετε την εισπνοή πτητικών αερίων και την άμεση επαφή με το δέρμα, τα μάτια και τους βλεννογόνους.
● Κατά τη διάρκεια της αραίωσης και της δοσολογίας, προσθέστε αργά οξύ σε απιονισμένο νερό. Μην προσθέτετε ποτέ νερό σε συμπυκνωμένο υδροφθορικό οξύ για να αποφύγετε πιτσιλίσματα και ατυχήματα ασφαλείας.
● Ειδικά μέτρα πρώτων{0}}βοηθειών θα πρέπει να λαμβάνονται αμέσως σε περίπτωση τυχαίας επαφής ή διαρροής και να ακολουθούνται αυστηρά οι οδηγίες απόρριψης έκτακτης ανάγκης SDS.
● Για την πλήρη ταξινόμηση κινδύνου, τους κανονισμούς μεταφοράς και τις διαδικασίες πρώτων-βοηθειών, ανατρέξτε στο επίσημο έγγραφο SDS.
Διασφάλιση Ποιότητας
Κάθε παρτίδα υδροφθορικού οξέος G4 παράγεται, καθαρίζεται και ελέγχεται αυστηρά σύμφωνα με τα διεθνή πρότυπα ημιαγωγών SEMI G4. Κάθε αποστολή επισυνάπτεται με μια παρτίδα-συγκεκριμένο επίσημο COA. Ολόκληρη η διαδικασία παραγωγής και πλήρωσης υιοθετεί τον αυστηρό καθαρό-έλεγχο μόλυνσης του δωματίου και τη διάβρωση-ανθεκτική διαχείριση της διαδικασίας, διασφαλίζοντας εξαιρετικά-υψηλή καθαρότητα και σταθερή ποιότητα για την κάλυψη των αυστηρών απαιτήσεων των προηγμένων διαδικασιών υγρής κατασκευής ημιαγωγών.
Δημοφιλείς Ετικέτες: ηλεκτρονικά χημικά g4 υδροφθορικό οξύ (υγρή χημική ουσία ημιαγωγών), Κίνα ηλεκτρονικά χημικά g4 υδροφθορικό οξύ (υγρή χημική ουσία ημιαγωγών) κατασκευαστές, προμηθευτές, εργοστάσιο

